Measuring stress in thin films
Document title: Measuring stress in thin films
Journal: Instrumentation & development
Database: PERIÓDICA
System number: 000192889
ISSN: 0187-8549
Authors: 1
2
Institutions: 1Instituto Politécnico Nacional, Centro de Investigación y de Estudios Avanzados, Guadalajara, Jalisco. México
2Universidad Autónoma de Barcelona, Bellaterra, Barcelona. España
Year:
Season: Jul
Volumen: 5
Number: 2
Pages: 99-103
Country: México
Language: Inglés
Document type: Artículo
Approach: Analítico
Disciplines: Ingeniería,
Física y astronomía
Keyword: Ingeniería de instrumentos,
Física de materia condensada,
Películas delgadas,
Medición de esfuerzos,
Sensores integrados,
Esfuerzo residual,
Silicio
Keyword: Engineering,
Physics and astronomy,
Instrumentation engineering,
Condensed matter physics,
Thin films,
Stress measuring,
Integrated sensors,
Residual stress,
Silicon
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