Revista: | Instrumentation & development |
Base de datos: | PERIÓDICA |
Número de sistema: | 000192889 |
ISSN: | 0187-8549 |
Autors: | Sandoval Ibarra, F1 Esteve, J2 |
Institucions: | 1Instituto Politécnico Nacional, Centro de Investigación y de Estudios Avanzados, Guadalajara, Jalisco. México 2Universidad Autónoma de Barcelona, Bellaterra, Barcelona. España |
Any: | 2001 |
Període: | Jul |
Volum: | 5 |
Número: | 2 |
Paginació: | 99-103 |
País: | México |
Idioma: | Inglés |
Tipo de documento: | Artículo |
Enfoque: | Analítico |
Disciplines | Ingeniería, Física y astronomía |
Paraules clau: | Ingeniería de instrumentos, Física de materia condensada, Películas delgadas, Medición de esfuerzos, Sensores integrados, Esfuerzo residual, Silicio |
Keyword: | Engineering, Physics and astronomy, Instrumentation engineering, Condensed matter physics, Thin films, Stress measuring, Integrated sensors, Residual stress, Silicon |
Solicitud del documento | |