Sensores de presion en silicio : una revision
Título del documento: Sensores de presion en silicio : una revision
Revista: Revista mexicana de física
Base de datos: PERIÓDICA
Número de sistema: 000005965
ISSN: 0035-001X
Autores: 1
Instituciones: 1Instituto Nacional de Astrofísica, Optica y Electrónica, Lab Microelectronica, Tonantzintla, Puebla. México
Año:
Periodo: Ago
Volumen: 40
Número: 4
Paginación: 533-546
País: México
Idioma: Español
Tipo de documento: Revisión bibliográfica
Enfoque: Descriptivo
Disciplinas: Ingeniería,
Física y astronomía
Palabras clave: Ingeniería de instrumentos,
Ingeniería de materiales,
Ingeniería electrónica,
Física de materia condensada,
Silicio,
Micromaquinado,
Sensores-presion,
Piezorresistividad
Keyword: Engineering,
Physics and astronomy,
Electronic engineering,
Instrumentation engineering,
Materials engineering,
Condensed matter physics,
Silicon,
Micromachining,
Pressure sensors,
Piezoresistivity
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