Revista: | Revista mexicana de física |
Base de datos: | PERIÓDICA |
Número de sistema: | 000005965 |
ISSN: | 0035-001X |
Autors: | Aceves Mijares, M1 Sandoval Ibarra, F |
Institucions: | 1Instituto Nacional de Astrofísica, Optica y Electrónica, Lab Microelectronica, Tonantzintla, Puebla. México |
Any: | 1994 |
Període: | Ago |
Volum: | 40 |
Número: | 4 |
Paginació: | 533-546 |
País: | México |
Idioma: | Español |
Tipo de documento: | Revisión bibliográfica |
Enfoque: | Descriptivo |
Disciplines | Ingeniería, Física y astronomía |
Paraules clau: | Ingeniería de instrumentos, Ingeniería de materiales, Ingeniería electrónica, Física de materia condensada, Silicio, Micromaquinado, Sensores-presion, Piezorresistividad |
Keyword: | Engineering, Physics and astronomy, Electronic engineering, Instrumentation engineering, Materials engineering, Condensed matter physics, Silicon, Micromachining, Pressure sensors, Piezoresistivity |
Solicitud del documento | |