Sensores de presion en silicio : una revision
Document title: Sensores de presion en silicio : una revision
Journal: Revista mexicana de física
Database: PERIÓDICA
System number: 000005965
ISSN: 0035-001X
Authors: 1
Institutions: 1Instituto Nacional de Astrofísica, Optica y Electrónica, Lab Microelectronica, Tonantzintla, Puebla. México
Year:
Season: Ago
Volumen: 40
Number: 4
Pages: 533-546
Country: México
Language: Español
Document type: Revisión bibliográfica
Approach: Descriptivo
Disciplines: Ingeniería,
Física y astronomía
Keyword: Ingeniería de instrumentos,
Ingeniería de materiales,
Ingeniería electrónica,
Física de materia condensada,
Silicio,
Micromaquinado,
Sensores-presion,
Piezorresistividad
Keyword: Engineering,
Physics and astronomy,
Electronic engineering,
Instrumentation engineering,
Materials engineering,
Condensed matter physics,
Silicon,
Micromachining,
Pressure sensors,
Piezoresistivity
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