Revue: | Revista mexicana de física |
Base de datos: | PERIÓDICA |
Número de sistema: | 000117418 |
ISSN: | 0035-001X |
Autores: | Peykov, P1 Aceves2 |
Instituciones: | 1Benemérita Universidad Autónoma de Puebla, Inst Ciencias, Puebla. México 2Instituto Nacional de Astrofísica, Optica y Electrónica, Tonantzintla, Puebla. México |
Año: | 1992 |
Periodo: | Oct |
Volumen: | 38 |
Número: | 5 |
Paginación: | 836-845 |
País: | México |
Idioma: | Inglés |
Tipo de documento: | Artículo |
Enfoque: | Analítico |
Disciplinas: | Física y astronomía |
Palabras clave: | Física de materia condensada, Estabilización, Implantación de iones, Capacitores, Fósforo, MOS |
Keyword: | Physics and astronomy, Condensed matter physics, Gettering, Ion implantation, Capacitors, Phosphorus, Mos |
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