| Revue: | Revista mexicana de física |
| Base de datos: | PERIÓDICA |
| Número de sistema: | 000245644 |
| ISSN: | 0035-001X |
| Autores: | Albertin, K.F1 Pereyra, I |
| Instituciones: | 1Universidade de Sao Paulo, Sao Paulo. Brasil |
| Año: | 2006 |
| Periodo: | Feb |
| Volumen: | 52 |
| Número: | 2 |
| Paginación: | 83-85 |
| País: | México |
| Idioma: | Inglés |
| Tipo de documento: | Artículo |
| Enfoque: | Experimental, descriptivo |
| Disciplinas: | Ingeniería, Física y astronomía |
| Palabras clave: | Ingeniería de materiales, Física, Fotolitografía, Transistores, Oxinitruro de silicio |
| Keyword: | Engineering, Physics and astronomy, Materials engineering, Physics, Photolytography, Transistors, Silicon oxynitride |
| Texte intégral: | Texto completo (Ver PDF) |
