| Journal: | Revista mexicana de física |
| Database: | PERIÓDICA |
| System number: | 000245644 |
| ISSN: | 0035-001X |
| Authors: | Albertin, K.F1 Pereyra, I |
| Institutions: | 1Universidade de Sao Paulo, Sao Paulo. Brasil |
| Year: | 2006 |
| Season: | Feb |
| Volumen: | 52 |
| Number: | 2 |
| Pages: | 83-85 |
| Country: | México |
| Language: | Inglés |
| Document type: | Artículo |
| Approach: | Experimental, descriptivo |
| Disciplines: | Ingeniería, Física y astronomía |
| Keyword: | Ingeniería de materiales, Física, Fotolitografía, Transistores, Oxinitruro de silicio |
| Keyword: | Engineering, Physics and astronomy, Materials engineering, Physics, Photolytography, Transistors, Silicon oxynitride |
| Full text: | Texto completo (Ver PDF) |
