Emisión de foto y catodoluminiscencia en películas de óxido de silicio térmico implantadas con silicio



Document title: Emisión de foto y catodoluminiscencia en películas de óxido de silicio térmico implantadas con silicio
Journal: Revista mexicana de física
Database: PERIÓDICA
System number: 000182782
ISSN: 0035-001X
Authors: 1



Institutions: 1Instituto Nacional de Astrofísica, Optica y Electrónica, Tonantzintla, Puebla. México
2Benemérita Universidad Autónoma de Puebla, Centro de Investigaciones en Dispositivos Semiconductores, Puebla. México
3Consejo Superior de Investigaciones Científicas, Centro Nacional de Microelectrónica, Barcelona. España
4Instituto Politécnico Nacional, Centro de Investigación y de Estudios Avanzados, México, Distrito Federal. México
Year:
Season: Oct
Volumen: 47
Number: 5
Pages: 467-473
Country: México
Language: Español
Document type: Artículo
Approach: Analítico
Disciplines: Física y astronomía
Keyword: Física,
Física de materia condensada,
Optica,
Fotoluminiscencia,
Catodoluminiscencia,
Oxido de silicio,
Propiedades ópticas,
Películas delgadas
Keyword: Physics and astronomy,
Condensed matter physics,
Optics,
Physics,
Photoluminescence,
Cathodoluminescence,
Silicon oxide,
Optical properties,
Thin films
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