Emisión de foto y catodoluminiscencia en películas de óxido de silicio térmico implantadas con silicio



Título del documento: Emisión de foto y catodoluminiscencia en películas de óxido de silicio térmico implantadas con silicio
Revista: Revista mexicana de física
Base de datos: PERIÓDICA
Número de sistema: 000182782
ISSN: 0035-001X
Autors: 1



Institucions: 1Instituto Nacional de Astrofísica, Optica y Electrónica, Tonantzintla, Puebla. México
2Benemérita Universidad Autónoma de Puebla, Centro de Investigaciones en Dispositivos Semiconductores, Puebla. México
3Consejo Superior de Investigaciones Científicas, Centro Nacional de Microelectrónica, Barcelona. España
4Instituto Politécnico Nacional, Centro de Investigación y de Estudios Avanzados, México, Distrito Federal. México
Any:
Període: Oct
Volum: 47
Número: 5
Paginació: 467-473
País: México
Idioma: Español
Tipo de documento: Artículo
Enfoque: Analítico
Disciplines Física y astronomía
Paraules clau: Física,
Física de materia condensada,
Optica,
Fotoluminiscencia,
Catodoluminiscencia,
Oxido de silicio,
Propiedades ópticas,
Películas delgadas
Keyword: Physics and astronomy,
Condensed matter physics,
Optics,
Physics,
Photoluminescence,
Cathodoluminescence,
Silicon oxide,
Optical properties,
Thin films
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