Emisión de foto y catodoluminiscencia en películas de óxido de silicio térmico implantadas con silicio



Título del documento: Emisión de foto y catodoluminiscencia en películas de óxido de silicio térmico implantadas con silicio
Revista: Revista mexicana de física
Base de datos: PERIÓDICA
Número de sistema: 000182782
ISSN: 0035-001X
Autores: 1



Instituciones: 1Instituto Nacional de Astrofísica, Optica y Electrónica, Tonantzintla, Puebla. México
2Benemérita Universidad Autónoma de Puebla, Centro de Investigaciones en Dispositivos Semiconductores, Puebla. México
3Consejo Superior de Investigaciones Científicas, Centro Nacional de Microelectrónica, Barcelona. España
4Instituto Politécnico Nacional, Centro de Investigación y de Estudios Avanzados, México, Distrito Federal. México
Año:
Periodo: Oct
Volumen: 47
Número: 5
Paginación: 467-473
País: México
Idioma: Español
Tipo de documento: Artículo
Enfoque: Analítico
Disciplinas: Física y astronomía
Palabras clave: Física,
Física de materia condensada,
Optica,
Fotoluminiscencia,
Catodoluminiscencia,
Oxido de silicio,
Propiedades ópticas,
Películas delgadas
Keyword: Physics and astronomy,
Condensed matter physics,
Optics,
Physics,
Photoluminescence,
Cathodoluminescence,
Silicon oxide,
Optical properties,
Thin films
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