Obtencion de peliculas delgadas de aluminio con una fuente de grafito
Document title: Obtencion de peliculas delgadas de aluminio con una fuente de grafito
Journal: Instrumentación y desarrollo
Database: PERIÓDICA
System number: 000020343
ISSN: 0187-8549
Authors: 1
Institutions: 1Universidade Federal do Rio Grande do Sul, Instituto de Física, Porto Alegre, Rio Grande do Sul. Brasil
Year:
Volumen: 3
Number: 3
Pages: 101-103
Country: México
Language: Español
Document type: Artículo
Approach: Analítico
Disciplines: Ingeniería,
Física y astronomía
Keyword: Ingeniería de instrumentos,
Física de materia condensada,
Vacío,
Aluminio,
Deposición,
Fuentes-grafito,
Películas delgadas
Keyword: Engineering,
Physics and astronomy,
Instrumentation engineering,
Condensed matter physics,
Vaccum,
Aluminum,
Thin films,
Deposition,
Graphite sources
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