Obtencion de peliculas delgadas de aluminio con una fuente de grafito
Título del documento: Obtencion de peliculas delgadas de aluminio con una fuente de grafito
Revista: Instrumentación y desarrollo
Base de datos: PERIÓDICA
Número de sistema: 000020343
ISSN: 0187-8549
Autores: 1
Instituciones: 1Universidade Federal do Rio Grande do Sul, Instituto de Física, Porto Alegre, Rio Grande do Sul. Brasil
Año:
Volumen: 3
Número: 3
Paginación: 101-103
País: México
Idioma: Español
Tipo de documento: Artículo
Enfoque: Analítico
Disciplinas: Ingeniería,
Física y astronomía
Palabras clave: Ingeniería de instrumentos,
Física de materia condensada,
Vacío,
Aluminio,
Deposición,
Fuentes-grafito,
Películas delgadas
Keyword: Engineering,
Physics and astronomy,
Instrumentation engineering,
Condensed matter physics,
Vaccum,
Aluminum,
Thin films,
Deposition,
Graphite sources
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