La implantacion ionica aplicada a la fabricacion de circuitos integrados mos
Document title: La implantacion ionica aplicada a la fabricacion de circuitos integrados mos
Journal: Ingeniería electrónica, automática y comunicaciones
Database: PERIÓDICA
System number: 000088148
ISSN: 0258-5944
Authors: 1
Institutions: 1Instituto Central de Investigación Digital, La Habana. Cuba
Year:
Season: Sep
Volumen: 5
Number: 3
Pages: 364-386
Country: Cuba
Language: Español
Document type: Reporte técnico
Approach: Descriptivo, analítico
Disciplines: Física y astronomía,
Ciencia y tecnología,
Ingeniería
Keyword: Física nuclear,
Tecnología,
Ingeniería electrónica,
Matemáticas aplicadas,
Circuitos integrados,
Fabricación,
Implantación de iones,
Cálculo,
Impurezas,
MOS
Keyword: Physics and astronomy,
Science and technology,
Engineering,
Nuclear physics,
Technology,
Electronic engineering,
Integrated circuits,
Manufacture,
Ion implantation,
Calculation,
Impurities,
Mos,
Applied mathematics
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