Revue: | Revista mexicana de física |
Base de datos: | PERIÓDICA |
Número de sistema: | 000165362 |
ISSN: | 0035-001X |
Autores: | Sandoval Ibarra, F1 Gutiérrez Domínguez, E Fuentes Tapia, I |
Instituciones: | 1Instituto Politécnico Nacional, Centro de Investigación y de Estudios Avanzados, Guadalajara, Jalisco. México 2Instituto Nacional de Astrofísica, Optica y Electrónica, Departamento de Electrónica, Tonantzintla, Puebla. México |
Año: | 2000 |
Periodo: | Feb |
Volumen: | 46 |
Número: | 1 |
Paginación: | 72-77 |
País: | México |
Idioma: | Inglés |
Tipo de documento: | Artículo |
Enfoque: | Analítico |
Disciplinas: | Física y astronomía |
Palabras clave: | Física, Física de materia condensada, Grabado de silicio, Superficies, Micromaquilado, Micrófonos de condensador |
Keyword: | Physics and astronomy, Condensed matter physics, Physics, Silicon etching, Surfaces, Micromachining, Condenser microphones |
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