Silicon supports for condenser microphone applications
Document title: Silicon supports for condenser microphone applications
Journal: Revista mexicana de física
Database: PERIÓDICA
System number: 000165362
ISSN: 0035-001X
Authors: 1
Institutions: 1Instituto Politécnico Nacional, Centro de Investigación y de Estudios Avanzados, Guadalajara, Jalisco. México
2Instituto Nacional de Astrofísica, Optica y Electrónica, Departamento de Electrónica, Tonantzintla, Puebla. México
Year:
Season: Feb
Volumen: 46
Number: 1
Pages: 72-77
Country: México
Language: Inglés
Document type: Artículo
Approach: Analítico
Disciplines: Física y astronomía
Keyword: Física,
Física de materia condensada,
Grabado de silicio,
Superficies,
Micromaquilado,
Micrófonos de condensador
Keyword: Physics and astronomy,
Condensed matter physics,
Physics,
Silicon etching,
Surfaces,
Micromachining,
Condenser microphones
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