Revue: | Revista mexicana de física |
Base de datos: | PERIÓDICA |
Número de sistema: | 000383675 |
ISSN: | 0035-001X |
Autores: | Rojas, A.G1 Renero, F1 Calleja, Wilfrido1 Pérez R1 Totolhua, O1 Gracia, F1 |
Instituciones: | 1Instituto Nacional de Astrofísica, Optica y Electrónica, Tonantzintla, Puebla. México |
Año: | 2005 |
Periodo: | Dic |
Volumen: | 51 |
Número: | 6 |
Paginación: | 620-625 |
País: | México |
Idioma: | Español |
Tipo de documento: | Artículo |
Enfoque: | Analítico, teórico |
Resumen en español | Presentamos el diseño de fabricación de una superficie cónica con k = —6.5. En un sustrato de silicio monocristalino, tomando como base la técnica de grabado anisotrópico con KOH. La superficie cónica es aproximada mediante ventanas esféricas. Comparaciones entre diámetro y separación de las ventanas esféricas, así como los parámetros que rigen la elección son discutidos |
Resumen en inglés | A fabrication design of a conic surface (k = —6.5), in monocrystalline silicon substrate and based on anisotropic etching with KOH, is presented. The conical surface is approximated by means of spherical windows; comparisons between diameter and separation of the spherical windows, as well as the parameters that govern the selection are discussed |
Disciplinas: | Física y astronomía, Ingeniería |
Palabras clave: | Optica, Ingeniería electrónica, Dispositivos optoelectrónicos, Micromaquinado en microelectrónica, Espejos ópticos |
Keyword: | Physics and astronomy, Engineering, Optics, Electronic engineering, Optoelectronic devices, Micromachining in microelectronics, Optical mirrors |
Texte intégral: | Texto completo (Ver PDF) |