| Revista: | Revista mexicana de física |
| Base de datos: | PERIÓDICA |
| Número de sistema: | 000383675 |
| ISSN: | 0035-001X |
| Autores: | Rojas, A.G1 Renero, F1 Calleja, Wilfrido1 Pérez R1 Totolhua, O1 Gracia, F1 |
| Instituciones: | 1Instituto Nacional de Astrofísica, Optica y Electrónica, Tonantzintla, Puebla. México |
| Año: | 2005 |
| Periodo: | Dic |
| Volumen: | 51 |
| Número: | 6 |
| Paginación: | 620-625 |
| País: | México |
| Idioma: | Español |
| Tipo de documento: | Artículo |
| Enfoque: | Analítico, teórico |
| Resumen en español | Presentamos el diseño de fabricación de una superficie cónica con k = —6.5. En un sustrato de silicio monocristalino, tomando como base la técnica de grabado anisotrópico con KOH. La superficie cónica es aproximada mediante ventanas esféricas. Comparaciones entre diámetro y separación de las ventanas esféricas, así como los parámetros que rigen la elección son discutidos |
| Resumen en inglés | A fabrication design of a conic surface (k = —6.5), in monocrystalline silicon substrate and based on anisotropic etching with KOH, is presented. The conical surface is approximated by means of spherical windows; comparisons between diameter and separation of the spherical windows, as well as the parameters that govern the selection are discussed |
| Disciplinas: | Física y astronomía, Ingeniería |
| Palabras clave: | Optica, Ingeniería electrónica, Dispositivos optoelectrónicos, Micromaquinado en microelectrónica, Espejos ópticos |
| Keyword: | Physics and astronomy, Engineering, Optics, Electronic engineering, Optoelectronic devices, Micromachining in microelectronics, Optical mirrors |
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