Control del proceso termico para la obtencion de peliculas semiconductoras usando el metodo de transporte de vapor en espacio reducido
Título del documento: Control del proceso termico para la obtencion de peliculas semiconductoras usando el metodo de transporte de vapor en espacio reducido
Revue: Revista mexicana de física
Base de datos: PERIÓDICA
Número de sistema: 000015631
ISSN: 0035-001X
Autores: 1
Instituciones: 1Instituto Politécnico Nacional, Centro de Investigación y de Estudios Avanzados, Mérida, Yucatán. México
Año:
Periodo: Ago
Volumen: 41
Número: 4
Paginación: 572-578
País: México
Idioma: Español
Tipo de documento: Artículo
Enfoque: Analítico
Disciplinas: Física y astronomía
Palabras clave: Física de materia condensada,
Termodinámica y física estadística,
Películas,
Semiconductores,
Sistemas de control,
Transporte de vapor
Keyword: Physics and astronomy,
Condensed matter physics,
Thermodynamics and statistical physics,
Films,
Semiconductors,
Steam transport,
Control systems
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