Control del proceso termico para la obtencion de peliculas semiconductoras usando el metodo de transporte de vapor en espacio reducido
Document title: Control del proceso termico para la obtencion de peliculas semiconductoras usando el metodo de transporte de vapor en espacio reducido
Journal: Revista mexicana de física
Database: PERIÓDICA
System number: 000015631
ISSN: 0035-001X
Authors: 1
Institutions: 1Instituto Politécnico Nacional, Centro de Investigación y de Estudios Avanzados, Mérida, Yucatán. México
Year:
Season: Ago
Volumen: 41
Number: 4
Pages: 572-578
Country: México
Language: Español
Document type: Artículo
Approach: Analítico
Disciplines: Física y astronomía
Keyword: Física de materia condensada,
Termodinámica y física estadística,
Películas,
Semiconductores,
Sistemas de control,
Transporte de vapor
Keyword: Physics and astronomy,
Condensed matter physics,
Thermodynamics and statistical physics,
Films,
Semiconductors,
Steam transport,
Control systems
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