Chemical sensitivity of Mo gate MOS capacitors



Título del documento: Chemical sensitivity of Mo gate MOS capacitors
Revue: Revista mexicana de física
Base de datos: PERIÓDICA
Número de sistema: 000245512
ISSN: 0035-001X
Autores: 1
Instituciones: 1Universidad de Buenos Aires, Facultad de Ingeniería, Buenos Aires. Argentina
Año:
Periodo: Feb
Volumen: 52
Número: 2
Paginación: 11-13
País: México
Idioma: Inglés
Tipo de documento: Artículo
Enfoque: Experimental, descriptivo
Disciplinas: Ingeniería,
Física y astronomía
Palabras clave: Ingeniería eléctrica,
Física,
Capacitores,
Hidrógeno,
Sensibilidad
Keyword: Engineering,
Physics and astronomy,
Electrical engineering,
Physics,
Capacitors,
Hydrogen,
Sensitivity
Texte intégral: Texto completo (Ver PDF)