Chemical sensitivity of Mo gate MOS capacitors



Document title: Chemical sensitivity of Mo gate MOS capacitors
Journal: Revista mexicana de física
Database: PERIÓDICA
System number: 000245512
ISSN: 0035-001X
Authors: 1
Institutions: 1Universidad de Buenos Aires, Facultad de Ingeniería, Buenos Aires. Argentina
Year:
Season: Feb
Volumen: 52
Number: 2
Pages: 11-13
Country: México
Language: Inglés
Document type: Artículo
Approach: Experimental, descriptivo
Disciplines: Ingeniería,
Física y astronomía
Keyword: Ingeniería eléctrica,
Física,
Capacitores,
Hidrógeno,
Sensibilidad
Keyword: Engineering,
Physics and astronomy,
Electrical engineering,
Physics,
Capacitors,
Hydrogen,
Sensitivity
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