Películas delgadas de ZnO:F depositadas por rocío químico: efecto de la temperatura de substrato sobre las propiedades físicas
Document title: Películas delgadas de ZnO:F depositadas por rocío químico: efecto de la temperatura de substrato sobre las propiedades físicas
Journal: Superficies y vacío
Database: PERIÓDICA
System number: 000252135
ISSN: 1665-3521
Authors: 1
Institutions: 1Instituto Politécnico Nacional, Centro de Investigación y de Estudios Avanzados, México, Distrito Federal. México
Year:
Season: Dic
Volumen: 13
Pages: 77-79
Country: México
Language: Español
Document type: Artículo
Approach: Experimental, descriptivo
Disciplines: Ingeniería
Keyword: Ingeniería de materiales,
Semiconductores,
Películas,
Oxidos,
Deposición
Keyword: Engineering,
Materials engineering,
Semiconductors,
Films,
Oxides,
Deposition
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