Películas delgadas de ZnO:F depositadas por rocío químico: efecto de la temperatura de substrato sobre las propiedades físicas
Título del documento: Películas delgadas de ZnO:F depositadas por rocío químico: efecto de la temperatura de substrato sobre las propiedades físicas
Revista: Superficies y vacío
Base de datos: PERIÓDICA
Número de sistema: 000252135
ISSN: 1665-3521
Autores: 1
Instituciones: 1Instituto Politécnico Nacional, Centro de Investigación y de Estudios Avanzados, México, Distrito Federal. México
Año:
Periodo: Dic
Volumen: 13
Paginación: 77-79
País: México
Idioma: Español
Tipo de documento: Artículo
Enfoque: Experimental, descriptivo
Disciplinas: Ingeniería
Palabras clave: Ingeniería de materiales,
Semiconductores,
Películas,
Oxidos,
Deposición
Keyword: Engineering,
Materials engineering,
Semiconductors,
Films,
Oxides,
Deposition
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