| Journal: | Revista mexicana de física |
| Database: | PERIÓDICA |
| System number: | 000154012 |
| ISSN: | 0035-001X |
| Authors: | Flores García, F1 Carrillo López, J Aceves Mijares, M |
| Institutions: | 1Benemérita Universidad Autónoma de Puebla, Instituto de Ciencias, Puebla. México 2Instituto Nacional de Astrofísica, Optica y Electrónica, Tonantzintla, Puebla. México |
| Year: | 1998 |
| Season: | Abr |
| Volumen: | 45 |
| Number: | 2 |
| Pages: | 156-162 |
| Country: | México |
| Language: | Inglés |
| Document type: | Artículo |
| Approach: | Analítico |
| Disciplines: | Física y astronomía |
| Keyword: | Física de materia condensada, Semiconductores, Cristalografía, Nitruro de silicio, Defecto de vacancia, Esfuerzo, Películas |
| Keyword: | Physics and astronomy, Condensed matter physics, Semiconductors, Crystallography, Silicon nitride, Vacancy defect, Stress, Films |
| Full text: | Texto completo (Ver PDF) |
