| Revista: | Revista mexicana de física |
| Base de datos: | PERIÓDICA |
| Número de sistema: | 000154012 |
| ISSN: | 0035-001X |
| Autores: | Flores García, F1 Carrillo López, J Aceves Mijares, M |
| Instituciones: | 1Benemérita Universidad Autónoma de Puebla, Instituto de Ciencias, Puebla. México 2Instituto Nacional de Astrofísica, Optica y Electrónica, Tonantzintla, Puebla. México |
| Año: | 1998 |
| Periodo: | Abr |
| Volumen: | 45 |
| Número: | 2 |
| Paginación: | 156-162 |
| País: | México |
| Idioma: | Inglés |
| Tipo de documento: | Artículo |
| Enfoque: | Analítico |
| Disciplinas: | Física y astronomía |
| Palabras clave: | Física de materia condensada, Semiconductores, Cristalografía, Nitruro de silicio, Defecto de vacancia, Esfuerzo, Películas |
| Keyword: | Physics and astronomy, Condensed matter physics, Semiconductors, Crystallography, Silicon nitride, Vacancy defect, Stress, Films |
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