Journal: | Revista mexicana de física |
Database: | PERIÓDICA |
System number: | 000002266 |
ISSN: | 0035-001X |
Authors: | Soto, G1 Zelaya, O Farias, M.H Cota Araiza, L Alvarez Fregoso, O Mendoza Alvarez, J.G Sánchez Sinencio, F |
Institutions: | 1Universidad Nacional Autónoma de México, Instituto de Investigaciones, México, Distrito Federal. México 2Universidad Nacional Autónoma de México, Instituto de Física, Ensenada, Baja California. México 3Instituto Politécnico Nacional, Centro de Investigación y de Estudios Avanzados, México, Distrito Federal. México |
Year: | 1994 |
Season: | Jun |
Volumen: | 40 |
Number: | 3 |
Pages: | 418-426 |
Country: | México |
Language: | Inglés |
Document type: | Artículo |
Approach: | Analítico |
Disciplines: | Física y astronomía |
Keyword: | Física de materia condensada, Estructura, Pulverización, Composición, Radiofrecuencia, Películas delgadas, Resistividad eléctrica |
Keyword: | Physics and astronomy, Condensed matter physics, Structure, Sputtering, Thin films, Composition, Radio frequency, Electrical resistivity |
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