Revista: | Revista mexicana de física |
Base de datos: | PERIÓDICA |
Número de sistema: | 000002266 |
ISSN: | 0035-001X |
Autores: | Soto, G1 Zelaya, O Farias, M.H Cota Araiza, L Alvarez Fregoso, O Mendoza Alvarez, J.G Sánchez Sinencio, F |
Instituciones: | 1Universidad Nacional Autónoma de México, Instituto de Investigaciones, México, Distrito Federal. México 2Universidad Nacional Autónoma de México, Instituto de Física, Ensenada, Baja California. México 3Instituto Politécnico Nacional, Centro de Investigación y de Estudios Avanzados, México, Distrito Federal. México |
Año: | 1994 |
Periodo: | Jun |
Volumen: | 40 |
Número: | 3 |
Paginación: | 418-426 |
País: | México |
Idioma: | Inglés |
Tipo de documento: | Artículo |
Enfoque: | Analítico |
Disciplinas: | Física y astronomía |
Palabras clave: | Física de materia condensada, Estructura, Pulverización, Composición, Radiofrecuencia, Películas delgadas, Resistividad eléctrica |
Keyword: | Physics and astronomy, Condensed matter physics, Structure, Sputtering, Thin films, Composition, Radio frequency, Electrical resistivity |
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