Formation and characterization of ion beam assisted nanosystems in silicon



Document title: Formation and characterization of ion beam assisted nanosystems in silicon
Journal: Revista mexicana de física
Database: PERIÓDICA
System number: 000331095
ISSN: 0035-001X
Authors: 1
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1
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1
Institutions: 1University of North Texas, Ion Beam Modification and Analysis Laboratory, Denton, Texas. Estados Unidos de América
2University of North Texas, Ultrafast Spectroscopy and Nanophotonics Laboratory, Denton, Texas. Estados Unidos de América
Year:
Season: Ago
Volumen: 56
Number: 4
Pages: 297-301
Country: México
Language: Inglés
Document type: Artículo
Approach: Analítico, descriptivo
Spanish abstract Aunque el silicio es ópticamente inactivo, las estructuras de las partículas a nanoescala (por ejemplo, carburo de silicio) en Si o en la matriz de sílice son candidatos potenciales para aplicaciones de dispositivos emisores de luz de estado sólido con temperaturas de operación mayores. La síntesis de estas nanoestructuras implica la implantación de iones y de recocido térmico posterior. Los espesores de película y tamaños de las nanoestructuras pueden ser controladas por la energía de iones, flujo de energía y las condiciones de recocido. Una caracterizacion basada en un acelerador de partículas se utilizó en las diferentes etapas de la formación y el analísis de estos nanosistemas en Si. Los resultados se presentarán mediante espectroscopía de infrarrojos (IR), X–espectroscopía de difracción de rayos X (DRX), y espectroscopía de fotoluminiscencia (PL)
English abstract Even though silicon is optically inactive, the nanoscale particle structures (e.g. SiC) in Si or silica matrices are potential candidates for light emitting solid state device applications with higher operation temperatures. The synthesis of these nanostructures involves ion implantation and subsequent thermal annealing. The film thicknesses and sizes of the nanostructures can be controlled by ion energy, fluence, and annealing conditions. Particle accelerator based characterization was used at different stages of formation and analysis of these nanosystems in Si. Results will be presented using infrared spectroscopy (IR), X–ray diffraction spectroscopy (XRD), and photoluminescence (PL) spectroscopy
Disciplines: Física y astronomía
Keyword: Física,
Física atómica y molecular,
Física de materia condensada,
Estado sólido,
SiC,
Nanosistemas,
Implantación de iones,
Fotoluminiscencia
Keyword: Physics and astronomy,
Atomic and molecular physics,
Condensed matter physics,
Physics,
Solid state,
SiC,
Nanosystems,
Ion implantation,
Photoluminescence
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