Formation and characterization of ion beam assisted nanosystems in silicon



Título del documento: Formation and characterization of ion beam assisted nanosystems in silicon
Revista: Revista mexicana de física
Base de datos: PERIÓDICA
Número de sistema: 000331095
ISSN: 0035-001X
Autores: 1
1
1
1
1
2
1
Instituciones: 1University of North Texas, Ion Beam Modification and Analysis Laboratory, Denton, Texas. Estados Unidos de América
2University of North Texas, Ultrafast Spectroscopy and Nanophotonics Laboratory, Denton, Texas. Estados Unidos de América
Año:
Periodo: Ago
Volumen: 56
Número: 4
Paginación: 297-301
País: México
Idioma: Inglés
Tipo de documento: Artículo
Enfoque: Analítico, descriptivo
Resumen en español Aunque el silicio es ópticamente inactivo, las estructuras de las partículas a nanoescala (por ejemplo, carburo de silicio) en Si o en la matriz de sílice son candidatos potenciales para aplicaciones de dispositivos emisores de luz de estado sólido con temperaturas de operación mayores. La síntesis de estas nanoestructuras implica la implantación de iones y de recocido térmico posterior. Los espesores de película y tamaños de las nanoestructuras pueden ser controladas por la energía de iones, flujo de energía y las condiciones de recocido. Una caracterizacion basada en un acelerador de partículas se utilizó en las diferentes etapas de la formación y el analísis de estos nanosistemas en Si. Los resultados se presentarán mediante espectroscopía de infrarrojos (IR), X–espectroscopía de difracción de rayos X (DRX), y espectroscopía de fotoluminiscencia (PL)
Resumen en inglés Even though silicon is optically inactive, the nanoscale particle structures (e.g. SiC) in Si or silica matrices are potential candidates for light emitting solid state device applications with higher operation temperatures. The synthesis of these nanostructures involves ion implantation and subsequent thermal annealing. The film thicknesses and sizes of the nanostructures can be controlled by ion energy, fluence, and annealing conditions. Particle accelerator based characterization was used at different stages of formation and analysis of these nanosystems in Si. Results will be presented using infrared spectroscopy (IR), X–ray diffraction spectroscopy (XRD), and photoluminescence (PL) spectroscopy
Disciplinas: Física y astronomía
Palabras clave: Física,
Física atómica y molecular,
Física de materia condensada,
Estado sólido,
SiC,
Nanosistemas,
Implantación de iones,
Fotoluminiscencia
Keyword: Physics and astronomy,
Atomic and molecular physics,
Condensed matter physics,
Physics,
Solid state,
SiC,
Nanosystems,
Ion implantation,
Photoluminescence
Texto completo: Texto completo (Ver HTML)