Ciliary motion in PECVD silicon carbide and silicon oxynitride microstructures



Document title: Ciliary motion in PECVD silicon carbide and silicon oxynitride microstructures
Journal: Revista mexicana de física
Database: PERIÓDICA
System number: 000245595
ISSN: 0035-001X
Authors: 1
Institutions: 1Universidade de Sao Paulo, Escola Politecnica, Sao Paulo. Brasil
Year:
Season: Feb
Volumen: 52
Number: 2
Pages: 48-49
Country: México
Language: Inglés
Document type: Artículo
Approach: Experimental, descriptivo
Disciplines: Ingeniería,
Física y astronomía
Keyword: Ingeniería de materiales,
Física,
Carburo de silicio,
Efecto joule,
Movimiento ciliar
Keyword: Engineering,
Physics and astronomy,
Materials engineering,
Physics,
Silicon carbide,
Joule effect,
Ciliary motion
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