Ciliary motion in PECVD silicon carbide and silicon oxynitride microstructures
Título del documento: Ciliary motion in PECVD silicon carbide and silicon oxynitride microstructures
Revista: Revista mexicana de física
Base de datos: PERIÓDICA
Número de sistema: 000245595
ISSN: 0035-001X
Autores: 1
Instituciones: 1Universidade de Sao Paulo, Escola Politecnica, Sao Paulo. Brasil
Año:
Periodo: Feb
Volumen: 52
Número: 2
Paginación: 48-49
País: México
Idioma: Inglés
Tipo de documento: Artículo
Enfoque: Experimental, descriptivo
Disciplinas: Ingeniería,
Física y astronomía
Palabras clave: Ingeniería de materiales,
Física,
Carburo de silicio,
Efecto joule,
Movimiento ciliar
Keyword: Engineering,
Physics and astronomy,
Materials engineering,
Physics,
Silicon carbide,
Joule effect,
Ciliary motion
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