| Revista: | Revista de la Academia Colombiana de Ciencias Exactas, Físicas y Naturales |
| Base de datos: | PERIÓDICA |
| Número de sistema: | 000356959 |
| ISSN: | 0370-3908 |
| Autores: | Piratoba Morales, Ulises1 Mariño Camargo, Alvaro1 Olaya Flórez, Jhon Jairo2 |
| Instituciones: | 1Universidad Nacional de Colombia, Departamento de Física, Bogotá. Colombia 2Universidad Nacional de Colombia, Departamento de Ingeniería Mecánica y Mecatrónica, Bogotá. Colombia |
| Año: | 2012 |
| Periodo: | Mar |
| Volumen: | 36 |
| Número: | 138 |
| Paginación: | 37-44 |
| País: | Colombia |
| Idioma: | Español |
| Tipo de documento: | Artículo |
| Enfoque: | Experimental, analítico |
| Resumen en español | Los magnetrones desbalanceados son cada vez más usados en investigación, tecnología y apli- caciones industriales, particularmente aquellas relacionadas con procesos de deposición física de vapor ( PVD) usados en el crecimiento de películas delgadas ( Marulanda et al., 2011; Olaya et al., 2011) Estas películas tienen amplias aplicaciones como recubrimientos duros, ópticos, decorativos y electrónicos. El empleo de dichos magnetrones, permite incrementar significativamente las veloci- dades de crecimiento de las películas y la eficiencia de los procesos, mejorándose ostensiblemente la calidad de las películas obtenidas. En éste trabajo se midieron las componentes axial y radial de campos magnéticos generados por magnetrones desbalanceados con simetría axial; se encontró que el campo magnético de un magnetrón construido con un imán cilíndrico y otro anular, concén- tricos, se correlaciona muy bien con el campo magnético generado por 2 espiras coplanares y con- céntricas, cuyas corrientes circulan en sentidos opuestos. El campo magnético teórico fue calculado aplicando la ley de Biot – Savart, y evaluado numéricamente con el programa MatLab |
| Resumen en inglés | Unbalanced magnetrons are increasingly used in research, technological and industrial applica- tions, particularly those related with physical vapor deposition processes (PVD) used for the growth of thin films ( Marulanda et al,. 2011; Olaya et al., 2011). These films have many applications as hard, optical, decorative and electronic coatings. The use of such magnetrons can significantly increase the growth rates of the films and the process efficiency, which also improves significantly the quality of the films obtained. In this work, measurements of the axial and radial components of the magnetic fields generated by an unbalanced magnetron with axial symmetry were carried out; it was found that the magnetic field of a magnetron built with a cylindrical and a concentric ring magnets with opposite polarities, correlated well with the magnetic field generated by two concentric coplanar loops, whose currents flow in opposite directions. The theoretical magnetic field was calculated applying the Biot - Savart law, and evaluated numerically using MatLab program |
| Disciplinas: | Física y astronomía |
| Palabras clave: | Electromagnetismo, Magnetrón desbalanceado, Campo magnético, Deposición física de vapor, Películas delgadas |
| Keyword: | Physics and astronomy, Electromagnetism, Unbalanced magnetron, Magnetic field, Physical vapor deposition, Thin films |
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