Influencia del error en el angulo de incidencia sobre los resultados elipsometricos
Document title: Influencia del error en el angulo de incidencia sobre los resultados elipsometricos
Journal: Revista cubana de física
Database: PERIÓDICA
System number: 000015574
ISSN: 0253-9268
Authors: 1
Institutions: 1Academia de Ciencias de Cuba, Buro Especial Construccion Instrumentos Cientificos, La Habana. Cuba
Year:
Volumen: 11
Number: 1
Pages: 49-59
Country: Cuba
Language: Español
Document type: Artículo
Approach: Analítico
Disciplines: Física y astronomía
Keyword: Física de materia condensada,
Optica,
Películas,
Estructuras,
Elipsometría,
Medicion-espesor,
Indice de refracción
Keyword: Physics and astronomy,
Condensed matter physics,
Optics,
Films,
Structures,
Ellipsometry,
Refractive index,
Thickness measurement
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