Influencia del error en el angulo de incidencia sobre los resultados elipsometricos
Título del documento: Influencia del error en el angulo de incidencia sobre los resultados elipsometricos
Revista: Revista cubana de física
Base de datos: PERIÓDICA
Número de sistema: 000015574
ISSN: 0253-9268
Autores: 1
Instituciones: 1Academia de Ciencias de Cuba, Buro Especial Construccion Instrumentos Cientificos, La Habana. Cuba
Año:
Volumen: 11
Número: 1
Paginación: 49-59
País: Cuba
Idioma: Español
Tipo de documento: Artículo
Enfoque: Analítico
Disciplinas: Física y astronomía
Palabras clave: Física de materia condensada,
Optica,
Películas,
Estructuras,
Elipsometría,
Medicion-espesor,
Indice de refracción
Keyword: Physics and astronomy,
Condensed matter physics,
Optics,
Films,
Structures,
Ellipsometry,
Refractive index,
Thickness measurement
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