Diseño y funcionamiento de un calentador de substratos para deposición excéntrica de películas delgadas
Document title: Diseño y funcionamiento de un calentador de substratos para deposición excéntrica de películas delgadas
Journal: Revista boliviana de física
Database: PERIÓDICA
System number: 000138375
ISSN: 1562-3823
Authors: 1
Institutions: 1University of Warwick, Department of Physics, Coventry, West Midlands. Reino Unido
2Universidad Mayor de San Andrés, Instituto de Investigaciones Físicas, La Paz. Bolivia
Year:
Season: Jul
Volumen: 2
Number: 2
Pages: 58-64
Country: Bolivia
Language: Español
Document type: Artículo
Approach: Analítico, descriptivo
Disciplines: Física y astronomía
Keyword: Física de materia condensada,
Calentadores de substratos,
Películas delgadas,
Láser,
Sistemas de deposición,
Ablación
Keyword: Physics and astronomy,
Condensed matter physics,
Substrate heaters,
Thin films,
LASER,
Deposition systems,
Ablation
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