Diseño y funcionamiento de un calentador de substratos para deposición excéntrica de películas delgadas
Título del documento: Diseño y funcionamiento de un calentador de substratos para deposición excéntrica de películas delgadas
Revista: Revista boliviana de física
Base de datos: PERIÓDICA
Número de sistema: 000138375
ISSN: 1562-3823
Autores: 1
Instituciones: 1University of Warwick, Department of Physics, Coventry, West Midlands. Reino Unido
2Universidad Mayor de San Andrés, Instituto de Investigaciones Físicas, La Paz. Bolivia
Año:
Periodo: Jul
Volumen: 2
Número: 2
Paginación: 58-64
País: Bolivia
Idioma: Español
Tipo de documento: Artículo
Enfoque: Analítico, descriptivo
Disciplinas: Física y astronomía
Palabras clave: Física de materia condensada,
Calentadores de substratos,
Películas delgadas,
Láser,
Sistemas de deposición,
Ablación
Keyword: Physics and astronomy,
Condensed matter physics,
Substrate heaters,
Thin films,
LASER,
Deposition systems,
Ablation
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