Formacion de defectos durante la oxidacion termica en presencia de tricloroetileno
Título del documento: Formacion de defectos durante la oxidacion termica en presencia de tricloroetileno
Revista: Ingeniería electrónica, automática y comunicaciones
Base de datos: PERIÓDICA
Número de sistema: 000090218
ISSN: 0258-5944
Autores: 1
Instituciones: 1Ctr Inv Metalurgicas, Fac Electrica, Fac Electronica, La Habana. Cuba
Año:
Periodo: Feb
Volumen: 6
Número: 1
Paginación: 11-17
País: Cuba
Idioma: Español
Tipo de documento: Artículo
Enfoque: Analítico
Disciplinas: Ingeniería
Palabras clave: Ingeniería electrónica,
Defectos,
Oxidación,
Crecimiento termico,
Tricloroetileno,
Fabricación,
Microelectrónica
Keyword: Engineering,
Electronic engineering,
Defects,
Oxidation,
Thermal growth,
Trichlorothylene,
Manufacture,
Microelectronics
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