Revue: | Superficies y vacío |
Base de datos: | PERIÓDICA |
Número de sistema: | 000252609 |
ISSN: | 1665-3521 |
Autores: | García González, L1 Espinoza Beltrán, F.J Morales Hernández, J2 Zelaya Angel, O3 |
Instituciones: | 1Instituto Politécnico Nacional, Centro de Investigación y de Estudios Avanzados, Querétaro. México 2Universidad Autónoma de Querétaro, Facultad de Ingeniería, Querétaro. México 3Instituto Politécnico Nacional, Centro de Investigación y de Estudios Avanzados, México, Distrito Federal. México |
Año: | 2002 |
Periodo: | Jul |
Volumen: | 14 |
Paginación: | 38-434 |
País: | México |
Idioma: | Español |
Tipo de documento: | Artículo |
Enfoque: | Experimental, descriptivo |
Disciplinas: | Ingeniería |
Palabras clave: | Ingeniería de materiales, Silicio, Dureza, Recubrimiento, Técnica de sputtering |
Keyword: | Engineering, Materials engineering, Films, Silice, Hardness, Coating, Sputtering technique |
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