| Revue: | Revista mexicana de física |
| Base de datos: | PERIÓDICA |
| Número de sistema: | 000331661 |
| ISSN: | 0035-001X |
| Autores: | Olaya, J.J1 Marulanda, D.M1 Rodil, S.E2 Bhushan, B3 |
| Instituciones: | 1Universidad Nacional de Colombia, Medellín, Antioquia. Colombia 2Universidad Nacional Autónoma de México, Instituto de Investigaciones en Materiales, México, Distrito Federal. México 3Ohio State University, Nanotribology Laboratory for Information Storage, Columbus, Ohio. Estados Unidos de América |
| Año: | 2009 |
| Periodo: | Dic |
| Volumen: | 55 |
| Número: | 6 |
| Paginación: | 425-431 |
| País: | México |
| Idioma: | Inglés |
| Tipo de documento: | Artículo |
| Enfoque: | Analítico, descriptivo |
| Resumen en español | El objetivo de esta investigación es estudiar la influencia de la configuración del campo magnético en un sistema de sputtering en las propiedades mecánicas de recubrimientos de CrN, TaN, TiN, NbN y ZrN. Se cuantificaron diferentes configuraciones del campo magnético a través del coeficiente de desbalanceo KG , que es proporcional al punto de campo cero en el magnetrón. En este trabajo de depositaron películas con dos configuraciones del campo magnético, KG =1.3 y 0.825. El efecto más importante de la configuración del campo magnético se observó en la dureza de la película. Al depositar sobre acero AISI M2 y acero 304, mejoraron las propiedades mecánicas y la resistencia al desgaste al aumentar el parámetro de energía; los valores de dureza más altos se obtuvieron para las películas de TaN, NbN y ZrN. Otra consecuencia del cambio en el campo magnético fue la variación en los esfuerzos residuales de compresión. La variación más alta se presentó en las películas de TaN mientras que las películas de CrN presentaron la menor concentración de esfuerzos |
| Resumen en inglés | The aim of this research is to study the influence of the magnetic field configuration in a sputtering system on the mechanical properties of CrN, TaN, TiN, NbN and ZrN coatings. Different magnetic field configurations were quantified through the unbalance coefficient, KG , which is proportional to the zero field point in the magnetron. In this work, films were deposited in two magnetic field configurations, KG =1.3 and 0.825. The most important effect of the magnetic field configuration was observed on film hardness. When depositing on AISI M2 and 304 steels, mechanical properties and wear resistance were increased when increasing energy parameter; higher hardness was obtained for TaN, NbN and ZrN films. Another consequence of the change in the magnetic field was compressive residual stress variation. Higher variation was presented on TaN films while CrN films presented lower stress concentration |
| Disciplinas: | Física y astronomía |
| Palabras clave: | Electromagnetismo, Física atómica y molecular, Ingeniería de materiales, Recubrimientos, Propiedades mecánicas, Campo magnético |
| Keyword: | Physics and astronomy, Atomic and molecular physics, Electromagnetism, Coatings, Mechanical properties, Magnetic field, Materials engineering |
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