Preparacion tecnologica de los hornos para el proceso de oxidacion del silicio
Título del documento: Preparacion tecnologica de los hornos para el proceso de oxidacion del silicio
Revista: Ingeniería electrónica, automática y comunicaciones
Base de datos: PERIÓDICA
Número de sistema: 000099174
ISSN: 0258-5944
Autores: 1
Instituciones: 1Cime, Fac Ingenieria Electrica, La Habana. Cuba
Año:
Volumen: 10
Número: 2
Paginación: 113-118
País: Cuba
Tipo de documento: Artículo
Enfoque: Experimental, descriptivo
Disciplinas: Ciencia y tecnología,
Ingeniería
Palabras clave: Tecnología,
Ingeniería química,
Silicio,
Oxidación,
Hornos,
Temperatura
Keyword: Science and technology,
Engineering,
Technology,
Chemical engineering,
Silicon,
Oxidation,
Furnaces,
Temperature
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