Fotolitografia aditiva . Aplicaciones y perspectivas
Título del documento: Fotolitografia aditiva . Aplicaciones y perspectivas
Revista: Ingeniería electrónica, automática y comunicaciones
Base de datos: PERIÓDICA
Número de sistema: 000020368
ISSN: 0258-5944
Autores: 1
Instituciones: 1Instituto Superior Politécnico "José Antonio Echeverría", Centro de Investigaciones en Microelectrónica, La Habana. Cuba
Año:
Volumen: 15
Número: 1
Paginación: 3-7
País: Cuba
Idioma: Español
Tipo de documento: Artículo
Enfoque: Aplicado
Disciplinas: Ingeniería
Palabras clave: Ingeniería electrónica,
Gráficas,
Fabricación,
Microelectrónica,
Fitolitografia aditiva,
Circuitos electrónicos
Keyword: Engineering,
Electronic engineering,
Graphs,
Fabrication,
Microelectronics,
Electronic circuits,
Additive photolitography
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