| Revue: | Dyna (Medellín) |
| Base de datos: | |
| Número de sistema: | 000544141 |
| ISSN: | 0012-7353 |
| Autores: | DUARTE, JULIO1 FERNÁNDEZ, FLAVIO1 MORENO SERENO, MAURICIO2 |
| Instituciones: | 1Universidad Pedagógica y Tecnológica de Colombia, Seccional Duitama Boyacá, 2Universidad. de Barcelona España, Departamento de Electrónica Facultad de Física y Química, España |
| Año: | 2009 |
| Periodo: | Jun |
| Volumen: | 76 |
| Número: | 158 |
| Paginación: | 167-176 |
| País: | Colombia |
| Idioma: | Español |
| Resumen en español | La caracterización de dispositivos que tienen como principio físico la modificación de su estructura geométrica, tal como la deflexión de las membranas de Si, exige que sus deformaciones sean establecidas de una manera fiable y precisa. En este sentido, se hace un análisis de algunas técnicas de caracterización de sensores en uso actualmente. Las técnicas ópticas son las más analizadas, especialmente la técnica interferométrica, utilizada para caracterizar membranas neumáticas de Si construidas en el Centro Nacional de Microelectrónica, de la Universidad Autónoma de Barcelona, y caracterizadas en el Departamento de Electrónica de la Universidad de Barcelona, Barcelona, España. |
| Resumen en inglés | The characterization of devices that have as a physical principle the modifications of their geometrical structures such as the silicon membrane deflection demands that their deformations must be measured in a reliable and precise way. In this sense, a study of some sensor characterization techniques used today is done. Optical techniques are emphasized, mainly the interferometric technique, which was used to characterize silicon membranes, that were manufactured in the Microelectronics National Centre at Universidad Auntónoma de Barcelona and tested at the Electronics Department at Barcelona University. |
| Palabras clave: | Membrana, Neumática, Interferometría, Infrarrojo, Piezoresistivo |
| Keyword: | Membrane, Pneumatic, Interferometer, Infrared, Piezoresistive |
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