Refino de silício por tratamento a vácuo



Document title: Refino de silício por tratamento a vácuo
Journal: Tecnologia em metalurgia, materiais e mineracao
Database: PERIÓDICA
System number: 000404637
ISSN: 2176-1515
Authors: 1
1
2
Institutions: 1Instituto de Pesquisas Tecnologicas do Estado de Sao Paulo, Centro de Tecnologia em Metalurgia e Materiais, Sao Paulo. Brasil
2Universidade de Sao Paulo, Escola Politecnica, Sao Paulo. Brasil
Year:
Season: Oct-Dic
Volumen: 11
Number: 4
Pages: 304-310
Country: Brasil
Language: Portugués
Document type: Artículo
Approach: Aplicado, descriptivo
English abstract This work aims to investigate the phosphorus removal by vacuum from metallurgical grade silicon (MGSi) (98.5% to 99% Si). Melting experiments were carried out in a vacuum induction furnace, varying parameters such as temperature, time and relation area exposed to the vacuum / volume of molten silicon. The results of chemical analysis were obtained by inductively coupled plasma (ICP), and evaluated based on thermodynamic and kinetic aspects of the reaction of vaporization of the phosphorus in the silicon. The phosphorus was decreased from 33 to approximately 1.5 ppm after three hours of vacuum treatment, concluding that the evaporation step is the controlling step of the process for parameters of temperature, pressure and agitation used and refining by this process is technically feasible
Portuguese abstract Este trabalho visa investigar a remoção a vácuo de fósforo do silício grau metalúrgico (SiGM) (98,5% a 99% de Si). Foram realizados experimentos de fusão em forno de indução a vácuo, variando parâmetros como temperatura, tempo e relação área exposta ao vácuo / volume de silício. Os resultados de análise química foram obtidos por plasma acoplado indutivamente (ICP) e avaliados com base em aspectos termodinâmicos e cinéticos da reação de vaporização do fósforo no silício. Obteve-se refino de 33 para cerca de 1,5 ppm de P em três horas, concluindo-se que a etapa de evaporação é a etapa controladora do processo para os parâmetros de temperatura, pressão e agitação utilizados, e que o refino por este processo é tecnicamente viável
Disciplines: Ingeniería
Keyword: Ingeniería metalúrgica,
Sílice,
Refinación,
Vacío
Keyword: Engineering,
Metallurgical engineering,
Silicon,
Refining,
Vacuum
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