| Journal: | Revista mexicana de física |
| Database: | PERIÓDICA |
| System number: | 000337704 |
| ISSN: | 0035-001X |
| Authors: | Duarte Moller, A1 Esparza Ponce, H2 Yocupicio, I3 González Valenzuela, C2 |
| Institutions: | 1Universidad de Sonora, Departamento de Física, Hermosillo, Sonora. México 2Centro de Investigación en Materiales Avanzados S.C., Chihuahua. México 3Universidad de Sonora, Unidad Regional Sur Lázaro Cardenas, Navojoa, Sonora. México |
| Year: | 2007 |
| Season: | Feb |
| Volumen: | 53 |
| Number: | 3 |
| Pages: | 78-81 |
| Country: | México |
| Language: | Inglés |
| Document type: | Artículo |
| Approach: | Experimental |
| Spanish abstract | Se creció una serie de películas delgadas de Tix Ny mediante la técnica de DC sputtering asistido por magnetrón balanceado en modo pulsado. El propósito del trabajo fue el de estudiar, mediante la interpretación de XAS, como las diferentes cantidades de nitrógeno suministrado durante el crecimiento de las películas delgadas de TiN, afecta la estequiometría del TiN depositado. También los resultados obtenidos determinan como se interpretan los espectros para observar las diferentes valencias del Ti en el TiN. Los resultados fueron obtenidos mediante el análisis XANES y EXAFS. Este trabajo concluye las condiciones adecuadas para este experimento y obtener TiN como película delgada mediante DC sputtering asistido por magnetrón balanceado en modo pulsado a temperatura ambiente y establece cual de de los espectros de XANES es la huella digital de las valencias de TiN |
| English abstract | A series of different Tix Ny thin films were grown by the DC-sputtering technique. The purpose for this work was to study through XAS interpretation, how the different amounts of N2 during growing thin TiN thin films, affects the stoichiometry of the TiN deposited. Also the results obtained determinate how to interpret the spectra to see the different valences of Ti in TiN, are working. The results were supported with the EXAFS and XANES analysis. This work concludes the adequated conditions for this experiment to obtain TiN as thin film by the DC sputtering assited by pulsed balanced magnetron at room temperature and aconcludes which XANES spectra are the finger print for valences of Ti |
| Disciplines: | Física y astronomía, Química |
| Keyword: | Física de materia condensada, Fisicoquímica y química teórica, Estado sólido, Películas delgadas, TiN, Nitruración, Teoría PLD |
| Keyword: | Physics and astronomy, Chemistry, Condensed matter physics, Physical and theoretical chemistry, Solid state, TiN, Nitruration, Thin films, PLD theory |
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