Multipurpose microwave plasma source
Document title: Multipurpose microwave plasma source
Journal: Revista mexicana de física
Database: PERIÓDICA
System number: 000116333
ISSN: 0035-001X
Authors: 1
Institutions: 1Instituto Nacional de Investigaciones Nucleares, Gerencia Inv Basica, México, Distrito Federal. México
Year:
Season: Abr
Volumen: 39
Number: 2
Pages: 260-270
Country: México
Document type: Artículo
Approach: Descriptivo
Disciplines: Física y astronomía,
Ciencia y tecnología
Keyword: Física de materia condensada,
Teoría cinética y plasmas,
Tecnología,
Fuentes-plasma,
Microondas,
Películas delgadas,
Resonancia ciclotrónica
Keyword: Physics and astronomy,
Science and technology,
Condensed matter physics,
Kinetic theory and plasma,
Technology,
Plasma sources,
Microwaves,
Thin films,
Cyclotronic resonance
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