| Journal: | Revista mexicana de física |
| Database: | PERIÓDICA |
| System number: | 000396703 |
| ISSN: | 0035-001X |
| Authors: | Alcalá Ochoa, N1 Mendiola, G1 Landgrave, J.E.A1 |
| Institutions: | 1Centro de Investigaciones en Optica A.C., León, Guanajuato. México |
| Year: | 2007 |
| Season: | Feb |
| Volumen: | 53 |
| Number: | 1 |
| Pages: | 66-71 |
| Country: | México |
| Language: | Inglés |
| Document type: | Artículo |
| Approach: | Analítico |
| Spanish abstract | El propósito de este trabajo es el de reportar resultados de medición de planicidad usando un interferómetro de incidencia oblicua. Se muestra que este interferómetro proporciona la exactitud necesaria para medir la planicidad de herramientas de pulido y superficies rugosas. Con el propósito de evaluar las irregularidades de la superficie bajo prueba, el interferograma obtenido se analiza con técnicas de procesamiento digital de imágenes basadas en métodos de Fourier. Encontramos experimentalmente que la superficie completa se puede medir con errores menores a ~ 0.6 μm, o ~ λeqv/6, donde λeqv = 3.6441 μm es la longitud de onda equivalente del interferómetro |
| English abstract | The purpose of this work is to report results of flatness measurements using a grazing incidence interferometer. We show that this interferometer provides enough accuracy to measure nominally flat polishing tools and rough surfaces. In order to calculate the deformation of the surface under test, an interferogram is analyzed with digital imaging techniques based on Fourier methods. We found experimentally that the entire surface topography can be recovered with errors lower than ~ 0.6 μm, or ~ λeqv/6, where λeqv = 3.6441 μm is the equivalent wavelength of the interferometer |
| Disciplines: | Física y astronomía |
| Keyword: | Optica, Interferometría, Planicidad, Superficies, Instrumentación |
| Keyword: | Physics and astronomy, Optics, Interferometry, Flatness, Surfaces, Instrumentation |
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