Cobalt nitride films produced by reactive pulsed laser deposition



Document title: Cobalt nitride films produced by reactive pulsed laser deposition
Journal: Revista mexicana de física
Database: PERIÓDICA
System number: 000396556
ISSN: 0035-001X
Authors: 1
1
1
2
Institutions: 1Universidad Nacional Autónoma de México, Centro de Ciencias de la Materia Condensada, Ensenada, Baja California. México
2Universidad Autónoma de Nuevo León, Facultad de Ciencias Físico Matemáticas, San Nicolás de los Garza, Nuevo León. México
Year:
Season: Oct
Volumen: 52
Number: 5
Pages: 409-412
Country: México
Language: Inglés
Document type: Artículo
Approach: Analítico
Spanish abstract Los Nitruros de metales magnéticos han tomado gran importancia debido a sus potenciales aplicaciones tecnológicas. En este trabajo se han depositado capas delgadas de Nitruro de Cobalto usando la técnica de ablación láser pulsado reactivo en ambiente de nitrógeno. Se han usado sustratos de silicio a temperatura ambiente. Las capas resultantes se caracterizaron in situ por espectroscopías Auger, de foto–emisión de rayos X y de pérdida de energía. El enlace químico y la estequiometría están fuertemente correlacionados, y ambos son controlados simultáneamente por la presión durante el depósito. Concluimos que este método de síntesis permite tener un control muy fino de las propiedades de capas delgadas de Nitruro de Cobalto
English abstract The nitrides of magnetic metal are becoming important due to their potential technological applications. In this work cobalt nitride thin films are deposited by reactive pulsed laser deposition (nitrogen environments) on silicon substrates at room temperature. The resultant films are characterized in–situ by Auger, X–Ray Photoelectron and Electron Energy Loss Spectroscopies. The chemical bond of the CoNx is strongly linked to the stoichiometry, and it can be controlled by the N background pressure. We conclude that this deposition method offers a means for fine–tuning the properties of cobalt nitride
Disciplines: Ingeniería,
Química
Keyword: Ingeniería de materiales,
Fisicoquímica y química teórica,
Películas delgadas,
Metales,
Nitruro de cobalto,
Ablación láser,
Depósito por láser pulsado
Keyword: Engineering,
Chemistry,
Materials engineering,
Physical and theoretical chemistry,
Thin films,
Metals,
Cobalt nitride,
Laser ablation,
Pulsed laser deposition
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