| Journal: | Revista mexicana de física |
| Database: | PERIÓDICA |
| System number: | 000363490 |
| ISSN: | 0035-001X |
| Authors: | Piratoba, Ulises1 Arenas Alatorre, Jesús Angel2 Olaya, J.J3 |
| Institutions: | 1Universidad Pedagógica y Tecnológica de Colombia, Escuela de Física, Tunja, Boyacá. Colombia 2Universidad Nacional Autónoma de México, Instituto de Física, México, Distrito Federal. México 3Universidad Nacional de Colombia, Departamento de Ingeniería Mecánica y Mecatrónica, Bogotá. Colombia |
| Year: | 2013 |
| Season: | Ene-Feb |
| Volumen: | 59 |
| Number: | 1 |
| Pages: | 10-15 |
| Country: | México |
| Language: | Español |
| Document type: | Artículo |
| Approach: | Analítico, teórico |
| Spanish abstract | Recubrimientos de 25 bicapas de Cr/CrN con espesores totales entre 1.32 y 1.67 micras, se depositaron por sputtering reactivo sobre silicio y sobre acero H13, en atmósferas de argón y argón mas nitrógeno. Se usó una potencia de 160 watts, flujos de argón y nitrógeno de 9 y 3 sccm respectivamente, y un magnetrón axial desbalanceado, cuyo coeficiente geométrico de desbalance KG [1] se varió entre 0.85 y 1.37. De estos recubrimientos se obtuvieron micrografías de sección superficial y transversal con microscopía electrónica de barrido SEM, se les hizo una caracterización micro estructural con difracción de rayos X XRD, una caracterización nano estructural con microscopía electrónica de transmisión TEM y superficial con microscopía de fuerza atómica AFM en modo contacto intermitente, análisis que mostraron recubrimientos de superficies uniformes con formaciones globulares y piramidales, que contienen algunas inclusiones granulares y cráteres microscópicos. Con el aumento en el desbalance del campo magnético, se incrementaron el tamaño de grano, la rugosidad y la velocidad de crecimiento de los recubrimientos |
| English abstract | Coatings of 25 bilayers of Cr/CrN, with total thickness between 1.32 and 1.67 microns, were deposited by reactive sputtering on silicon and H13 steel, in argon and argon with nitrogen atmospheres. A power of 160 watts, flows of argon and nitrogen of 9 and 3 sccm respectively, and an axial unbalanced magnetron, whose coefficient of geometrical unbalance KG [1] was varied between 0.85 and 1.37. Of these coatings, micrographs of surface and cross section scanning electron microscopy SEM were obtained, was make a micro structural characterization with X-Ray Diffraction XRD, a nano structural characterization by transmission electron microscopy TEM, and surface characterization by atomic force microscopy AFM in tapping mode; analysis showed uniform surface coating with globular and pyramidal formations, which contain some granular inclusions and microscopic craters. With the increase in the unbalance of the magnetic field, the grain size, the roughness and the speed of the coatings growth were increased |
| Disciplines: | Física y astronomía, Ingeniería |
| Keyword: | Física de materia condensada, Ingeniería de materiales, Cromo, Nitruro de cromo, Pulverización, Contacto intermitente, Recubrimientos duros |
| Keyword: | Physics and astronomy, Engineering, Condensed matter physics, Materials engineering, Chromium, Chromium nitride, Sputtering, Tapping mode, Hard coatings |
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