| Journal: | Revista mexicana de física E |
| Database: | PERIÓDICA |
| System number: | 000335283 |
| ISSN: | 1870-3542 |
| Authors: | Reyes Barranca, Mario Alfredo1 González Vidal, J.L2 Tavira Fuentes, A1 |
| Institutions: | 1Instituto Politécnico Nacional, Departamento de Ingeniería Eléctrica, México, Distrito Federal. México 2Universidad Autónoma del Estado de Hidalgo, Pachuca, Hidalgo. México |
| Year: | 2008 |
| Season: | Jun |
| Volumen: | 54 |
| Number: | 1 |
| Pages: | 15-24 |
| Country: | México |
| Language: | Inglés |
| Document type: | Artículo |
| Approach: | Analítico, teórico |
| Spanish abstract | En este trabajo se presenta un modelo analıtico termico para un microsensor de gas MEM y, ademas se compara con un modelo de circuito electrico equivalente, con el objetivo de estudiar el comportamiento termico de una micro placa caliente de una estructura MEM utilizada en el sensado de gases. Por lo anterior, es posible determinar la magnitud de la corriente electrica que debe ser aplicada a un micro calefactor de polisilicio, considerando sus dimensiones y los materiales utilizados; por ejemplo, cuando la estructura del sensor es fabricada con tecnologıa MEMS, la cual es compatible con la fabricacion de circuitos integrados CMOS. Los resultados mostrados son el tiempo de respuesta y nivel de temperatura como funcion de la temperatura corriente aplicada. El modelo presentado puede ser aplicado como base para el dise no de micro placas calientes usadas en sensores de gases, donde se necesitan temperaturas en el orden de los 300±C, dichos sensores de gas ser´an integrados monolıticamente con su electronica asociada correspondiente, considerando un consumo de potencia mınima |
| English abstract | A thermal analytical model for a MEM gas sensor is presented and compared with an electrical circuit equivalent model. The objective is to study the temperature performance of the microhot plate configured within a MEM structure used for gas sensing. From this, it is possible to determine the magnitude of the electrical current that must be applied to the polysilicon heater on regard of its dimensions and materials used, for instance, when the sensor structure is fabricated with a MEMS technology compatible with CMOS integrated circuits fabrication. Results are presented where the response time and temperature level, as a function of applied current, can be determined. The model presented can be used as a base for designing microhot plates operating in gas sensors, where temperatures in the order of 300±C are needed and that will be integrated monolithically with associated electronics, with constraints as minimum power dissipation |
| Disciplines: | Física y astronomía |
| Keyword: | Física, Modelo térmico, Microplaca caliente, Conductividad térmica, Respuesta electrotérmica |
| Keyword: | Physics and astronomy, Physics, Thermal model, Microhot plate, Thermal conductivity, Electro-thermal response |
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