Aplicacion del microscopio electronico de barrido al estudio de la estructura de las capas de los circuitos integrados
Título del documento: Aplicacion del microscopio electronico de barrido al estudio de la estructura de las capas de los circuitos integrados
Revista: Revista cubana de física
Base de datos: PERIÓDICA
Número de sistema: 000069384
ISSN: 0253-9268
Autores: 1
Instituciones: 1Instituto Central de Investigación Digital, La Habana. Cuba
Año:
Volumen: 4
Número: 2
Paginación: 83-90
País: Cuba
Tipo de documento: Artículo
Enfoque: Aplicado, descriptivo
Disciplinas: Física y astronomía
Palabras clave: Electromagnetismo,
Microscopía electrónica,
Circuitos integrados,
Estructura-capas,
Meb
Keyword: Physics and astronomy,
Electromagnetism,
Electron microscopy,
Integrated circuits,
Layer structure,
Sem
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